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成都普斯特电器有限责任公司MS系列滋控溅射电源-【新闻】

发布时间:2021-05-28 14:47:07 阅读: 来源:扫地机厂家

成都普斯特电器有限责任公司MS系列滋控溅射电源

MS系列滋控溅射电源主要用于平衡和非平衡磁控溅射靶的直流磁控溅射、单极性脉冲磁控溅射、中频孪生靶磁控溅射和中频非对称靶磁控溅射,它们是传统磁控溅射电源的更新换代产品。MS系列磁控溅射电源分模拟式和数字式两种类型。 主要特点: 1.采用先进的开关电源技术,体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小,在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。 2.具备自动稳流功能,可在电网电压和负载大幅度波动情况下保证电源高效、稳定地工作,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量。 3.针对新靶清洗时存在的频繁打火现象, 设计了抑制打火自动保护功能,既保证了靶面清洗工艺的稳定性,又提高了靶面清洗速度。 4.具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。 5.主要参数均可大范围连续调节。 6.可选择就地手动控制、远端手动控制、模拟量控制接口和数字控制接口。 7.电源效率≥90%。 MS系列数字式磁控溅射电源除具有上述模拟式的特点外,还具有: 1.数字化控制、精度高、重复性好;全部配有控制面板和电脑程序控制软件,易于操作使用,可以根据工艺的需求,设定工艺参数,电源适应性强,充分保证镀膜工艺的重复性,精确控制膜厚和减少靶材用量。 2.可以通过RS232、RS485等数字端口与上位机进行通讯拓展了电源的控制功能。 3.能够设置工作时间,显示电压、电流、功率、工作时间、工作状态。 电源按输出功率分为10kW、20kW、30kW、50kW、70kW、100kW等主要规格。

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